出封裝
扇出封裝(Fan-Out, FO)技術(shù)通過獨(dú)特的封裝結(jié)構(gòu)與工藝創(chuàng)新,已滲透至移動(dòng)終端、高性能計(jì)算、汽車電子及5G通信等核心領(lǐng)域,成為推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)小型化、高性能化發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)。本文聚焦其應(yīng)用與市場發(fā)展,分述如下:
扇出封裝應(yīng)用
各大制造商的扇出封裝技術(shù)
扇出封裝供應(yīng)鏈概述
扇出封裝應(yīng)用
一、移動(dòng)與消費(fèi)電子:輕薄化與功能集成
在智能手機(jī)領(lǐng)域,F(xiàn)O-WLP(扇出型晶圓級(jí)封裝)已成為高端芯片封裝的主流方案。以蘋果iPhone7系列為標(biāo)志,臺(tái)積電InFO PoP技術(shù)通過重構(gòu)層(RDL)實(shí)現(xiàn)AP(應(yīng)用處理器)與內(nèi)存的垂直堆疊,使整體封裝厚度從傳統(tǒng)方案的550μm大幅壓縮至231μm,直接驅(qū)動(dòng)了智能手機(jī)向超薄化演進(jìn)。
三星則通過FO-PLP(扇出型面板級(jí)封裝)技術(shù),在Galaxy Watch智能手表中集成Exynos9110 APE(應(yīng)用處理器)與PMIC(電源管理芯片),其封裝面積較傳統(tǒng)方案縮小30%以上,同時(shí)保持了77GHz車規(guī)級(jí)雷達(dá)芯片的射頻性能穩(wěn)定性。
扇出封裝應(yīng)用場景有:
存儲(chǔ)器封裝:面對(duì)傳統(tǒng)FC-CSP(倒裝芯片級(jí)封裝)與MCeP(模塊核心嵌入式封裝)的厚度瓶頸,HD FO(高密度扇出)技術(shù)通過超細(xì)間距(最小L/S達(dá)1μm級(jí))RDL布線,使AP+內(nèi)存PoP(堆疊封裝)厚度突破425μm限制,為電池容量擴(kuò)展與散熱設(shè)計(jì)留出空間。
可穿戴設(shè)備:在TWS耳機(jī)、智能手表等場景中,F(xiàn)O封裝憑借其優(yōu)異的熱機(jī)械性能,成功集成藍(lán)牙MCU、NOR閃存及PMIC,單設(shè)備封裝體積較傳統(tǒng)方案縮減50%以上。
二、電信與基礎(chǔ)設(shè)施:2.5D替代方案與加速
針對(duì)數(shù)據(jù)中心對(duì)高帶寬、低延遲的極致需求,UHD FO(超高密度扇出)技術(shù)提供了2.5D硅轉(zhuǎn)接板的性價(jià)比替代方案。其核心價(jià)值體現(xiàn)在:
網(wǎng)絡(luò)芯片重構(gòu):將大型網(wǎng)絡(luò)處理器拆分為多個(gè)小芯片,通過UHD FO的RDL層實(shí)現(xiàn)100+ I/O密度互連,較傳統(tǒng)2.5D方案成本降低40%,同時(shí)保持SERDES(串行器/解串器)鏈路速率達(dá)112Gbps。
HBM集成:在GPU/ASIC與HBM(高帶寬內(nèi)存)的異構(gòu)集成中,UHD FO通過TSV(硅通孔)替代傳統(tǒng)中介層,使計(jì)算芯片與內(nèi)存之間的數(shù)據(jù)帶寬突破1TB/s,功耗降低30%。
典型案例包括:
AI加速器:某頭部廠商采用UHD FO封裝其AI訓(xùn)練芯片,實(shí)現(xiàn)HBM2E內(nèi)存與GPU的零間距互連,推理性能較PCIe接口方案提升8倍。
5G基站:通過FO封裝將毫米波前端模塊(FEM)與基帶芯片集成,使基站體積縮小至傳統(tǒng)方案的1/3,滿足5G小基站部署需求。
三、汽車電子:射頻性能與功能安全
在汽車?yán)走_(dá)領(lǐng)域,F(xiàn)O-AiP(扇出型封裝天線)技術(shù)已成為ADAS(高級(jí)駕駛輔助系統(tǒng))的核心組件。
以聯(lián)發(fā)科Autus R10MT2706為例:
射頻優(yōu)化:通過在封裝內(nèi)嵌入天線陣列,并利用PCB接地層反射電磁波,使77GHz雷達(dá)信號(hào)損耗降低至0.8dB以下,盲區(qū)檢測精度達(dá)±5cm。
集成度突破:封裝面積僅39mm2,其中芯片占比25%、天線占比28%,較傳統(tǒng)AoP(封裝上天線)方案縮小83%,支持同時(shí)集成4顆雷達(dá)芯片實(shí)現(xiàn)360°環(huán)視。
該技術(shù)已廣泛應(yīng)用于:
自動(dòng)緊急制動(dòng)(AEB):通過FO封裝雷達(dá)與攝像頭融合,實(shí)現(xiàn)100米內(nèi)行人識(shí)別響應(yīng)時(shí)間小于50ms。
自動(dòng)泊車輔助(APA):在超窄車位場景中,F(xiàn)O雷達(dá)的角分辨率達(dá)1°,可精確識(shí)別0.1米級(jí)障礙物。
四、5G通信:毫米波頻段的封裝革命
面對(duì)5G毫米波(24GHz以上)的信號(hào)衰減挑戰(zhàn),F(xiàn)O-AiP技術(shù)通過三大創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)突破:
低損耗材料:采用LCP(液晶聚合物)基板替代傳統(tǒng)PI(聚酰亞胺),使28GHz頻段插入損耗降低至0.3dB/mm。
相控陣集成:在iPhone毫米波模組中,通過FO封裝將8×8天線陣列與調(diào)制解調(diào)芯片垂直互連,實(shí)現(xiàn)波束成形角度±60°覆蓋。
熱管理優(yōu)化:在0.4mm超薄封裝體內(nèi)嵌入微通道散熱結(jié)構(gòu),使連續(xù)波束掃描功耗控制在3W以內(nèi)。
據(jù)預(yù)測,單臺(tái)5G手機(jī)將集成3-4顆FO-AiP模組,覆蓋Sub-6GHz與毫米波雙頻段,推動(dòng)天線封裝市場規(guī)模在2026年突破80億美元。
各大制造商的扇出封裝技術(shù)
一、安靠:WLFO技術(shù)引領(lǐng)高密度集成
安靠通過收購葡萄牙Nanium(現(xiàn)ATEP)強(qiáng)化了其在扇出封裝領(lǐng)域的布局。其核心技術(shù)WLFO(Wafer-Level Fan-Out)基于eWLB技術(shù)演進(jìn),具備以下特征:
產(chǎn)品矩陣豐富:涵蓋WLBGA、WLLGA、WLSiP、WL3D、WLPoP、WLMCM等,支持單芯片封裝及多芯片集成(如SiP、PoP)。
工藝創(chuàng)新:通過增加RDL層數(shù)(最多達(dá)6層)和芯片嵌入能力,實(shí)現(xiàn)高I/O密度(>2000個(gè))和復(fù)雜架構(gòu)。例如,WL3D技術(shù)可將邏輯芯片與HBM垂直互連,帶寬密度達(dá)0.5TB/s/mm2。
市場定位:主打移動(dòng)終端(如AP+內(nèi)存PoP)、汽車?yán)走_(dá)(77GHz頻段)及IoT設(shè)備,其WLFO封裝厚度較傳統(tǒng)方案縮減40%,滿足輕薄化需求。
二、長電科技:3D eWLB技術(shù)驅(qū)動(dòng)異構(gòu)集成
長電科技通過收購星科金鵬(STATS ChipPAC)獲得eWLB核心技術(shù),并推出3D eWLB平臺(tái),核心優(yōu)勢包括:
超薄化設(shè)計(jì):封裝厚度低至0.25mm,支持可穿戴設(shè)備(如TWS耳機(jī))的緊湊設(shè)計(jì)。
高密度互連:通過細(xì)間距RDL實(shí)現(xiàn)多芯片堆疊,例如將AP、PMIC、RF模塊集成于單一封裝,面積減少60%。
應(yīng)用拓展:在汽車電子領(lǐng)域,其3D eWLB封裝已應(yīng)用于激光雷達(dá)(LiDAR)的信號(hào)處理芯片,耐受-40℃~125℃溫寬。
三、恩智浦:RCP技術(shù)聚焦電磁屏蔽與剛性
恩智浦的RCP(Redistributed Chip Package)技術(shù)由Nepes授權(quán),與eWLB形成差異化競爭:
結(jié)構(gòu)創(chuàng)新:采用涂膠塑封(而非壓模塑封)并嵌入銅結(jié)構(gòu),提供電磁屏蔽(屏蔽效能>60dB)和機(jī)械剛性,適用于高功率器件(如汽車?yán)走_(dá))。
典型應(yīng)用:NXP MR2001 77GHz雷達(dá)芯片采用RCP封裝,天線增益提升15%,滿足AEB(自動(dòng)緊急制動(dòng))系統(tǒng)的毫秒級(jí)響應(yīng)需求。
局限性:工藝復(fù)雜度較高(增加銅層沉積步驟),成本較eWLB高出20%,限制了其在大規(guī)模消費(fèi)電子中的普及。
四、Deca:M-Series技術(shù)破解芯片偏移難題
Deca的M-Series FO技術(shù)通過自適應(yīng)圖案化(Adaptive Patterning?)解決芯片偏移問題,核心突破包括:
動(dòng)態(tài)校正:利用光學(xué)檢測實(shí)時(shí)調(diào)整RDL布線,匹配芯片實(shí)際位置,偏移量控制在±3μm以內(nèi)(傳統(tǒng)eWLB為±10μm)。
銅柱互連:芯片焊盤與RDL通過銅柱直接連接,減少寄生電感,適用于高頻應(yīng)用(如5G毫米波模組)。
商業(yè)化進(jìn)展:技術(shù)已授權(quán)給ASE(日月光)和Nepes,2021年Deca在菲律賓的產(chǎn)能達(dá)每月5000萬顆,支持蘋果iPhone的AiP模組生產(chǎn)。
五、日月光:面板級(jí)封裝與高頻應(yīng)用雙輪驅(qū)動(dòng)
日月光作為全球封測龍頭,通過多元化技術(shù)布局和產(chǎn)能擴(kuò)張,鞏固了其在扇出封裝領(lǐng)域的領(lǐng)先地位,其技術(shù)演進(jìn)呈現(xiàn)三大方向:
1.技術(shù)矩陣覆蓋全場景
eWLB(授權(quán)自英飛凌):作為FO-WLP基準(zhǔn)技術(shù),采用面朝下(Face-Down)芯片先置工藝,支持單芯片嵌入及多芯片集成(如SiP、PoP),良率達(dá)99.5%,適用于大規(guī)模移動(dòng)終端封裝。
M-Series(授權(quán)自Deca):通過自適應(yīng)圖案化技術(shù)解決芯片偏移問題,面朝上(Face-Up)結(jié)構(gòu)使芯片偏移量<±3μm,已應(yīng)用于蘋果iPhone的AiP模組。
FOCLP(Fan-Out Chip Last Package):采用倒裝芯片(Flip-Chip)與無芯載板結(jié)合,后續(xù)嵌入模塑材料,解決I/O密度限制(支持>1500個(gè)I/O),適用于中低端移動(dòng)設(shè)備。
FO-CoS(Fan-Out on Substrate):定位為2.5D硅轉(zhuǎn)接板的低成本替代方案,自2018年量產(chǎn)以來,RDL線寬間距已達(dá)2μm/2μm,支持大型SoC(如AI加速器)與HBM集成,較傳統(tǒng)2.5D方案成本降低30%。
2.面板級(jí)封裝產(chǎn)能擴(kuò)張
615mm×625mm面板線:生產(chǎn)Deca M-Series技術(shù),目標(biāo)毫米波AiP等高頻應(yīng)用。
300mm×300mm面板線:瞄準(zhǔn)更先進(jìn)應(yīng)用(如HPC),通過更細(xì)的L/S(1.5μm/1.5μm)提升集成度,預(yù)計(jì)2026年量產(chǎn)。
3.高頻應(yīng)用場景突破
汽車?yán)走_(dá):77GHz雷達(dá)封裝采用FO-CoS技術(shù),天線增益提升20%,滿足AEB系統(tǒng)毫秒級(jí)響應(yīng)需求。
5G通信:開發(fā)支持28GHz/39GHz毫米波的FO-AiP模組,封裝尺寸壓縮至12mm×12mm×0.9mm,損耗<0.5dB/mm。
六、臺(tái)積電:InFO技術(shù)引領(lǐng)高端封裝革命
臺(tái)積電通過InFO(Integrated Fan-Out)技術(shù)重構(gòu)半導(dǎo)體封裝生態(tài),其技術(shù)演進(jìn)可分為三大階段:
1.移動(dòng)終端封裝(InFO_PoP)
技術(shù)突破:2016年隨iPhone 7首發(fā),采用3層RDL(最小L/S=8μm/11μm),將APE封裝厚度壓縮至0.23mm(含芯片、RDL及BGA焊球),較傳統(tǒng)FC-PoP減薄50%。電性能優(yōu)勢顯著,信號(hào)延遲降低40%,功耗減少25%。
市場影響:助力蘋果A10/A11/A12處理器連續(xù)迭代,推動(dòng)臺(tái)積電7nm/5nm制程市占率超60%。倒逼FC-PoP市場萎縮,2021年InFO_PoP占據(jù)高端移動(dòng)封裝45%份額。
2.異構(gòu)集成平臺(tái)(InFO_oS/MS/AiP)
InFO_oS(On Substrate):針對(duì)5G網(wǎng)絡(luò)設(shè)備,集成多個(gè)邏輯芯粒(Chiplet),RDL線寬間距達(dá)2μm/2μm,支持>65mm×65mm基板,I/O節(jié)距最小40μm。應(yīng)用于博通5G基站芯片,帶寬密度提升至0.8TB/s/mm2。
InFO_MS(Memory on Substrate):面向AI推理,集成HBM與GPU,數(shù)據(jù)傳輸速率達(dá)1.2TB/s,較傳統(tǒng)2.5D方案延遲降低30%。
InFO_AiP:集成毫米波天線與FEM(前端模塊),封裝尺寸12mm×12mm×0.9mm,支持相控陣波束成形,應(yīng)用于iPhone毫米波模組。
3.3D集成與創(chuàng)新(3D-MiM/InFO_SoW)
3D-MiM(MUST-in-MUST):消除BGA互連,通過TSV與RDL混合鍵合實(shí)現(xiàn)邏輯芯片與HBM的3D堆疊,帶寬突破1.5TB/s,功耗效率提升50%。應(yīng)用于AMD MI300X AI加速器,算力密度達(dá)40TFLOPS/mm3。
InFO_SoW(System on Wafer):晶圓級(jí)集成芯片陣列與電源/散熱模塊,消除基板與PCB,實(shí)現(xiàn)低延遲(<1ns)芯片間通信。用于特斯拉Dojo超算,單晶圓可集成25個(gè)訓(xùn)練模塊,算力達(dá)1.1EFLOPS。
扇出封裝供應(yīng)鏈概述
一、OSAT廠商:技術(shù)迭代與成本博弈
OSAT(外包半導(dǎo)體封裝測試)企業(yè)構(gòu)成FO產(chǎn)業(yè)鏈中堅(jiān)力量,其競爭格局呈現(xiàn)三大特征:
1.技術(shù)路線分化
核心FO-WLP:安靠(Amkor)、長電科技(JCET)、日月光(ASE)憑借eWLB技術(shù)主導(dǎo)移動(dòng)終端市場,量產(chǎn)成熟度達(dá)99.9%(良率)。
面板級(jí)FO-PLP:PTI、Nepes通過600mm×600mm面板線降低成本30%,目標(biāo)IoT與中低端手機(jī)市場。
研發(fā)儲(chǔ)備:SPIL(硅品)與Amkor Korea啟動(dòng)FO認(rèn)證,聚焦汽車?yán)走_(dá)(77GHz)與5G AiP封裝。
2.客戶結(jié)構(gòu)演變
設(shè)計(jì)公司綁定:聯(lián)發(fā)科將50%的AiP訂單轉(zhuǎn)向PTI,以應(yīng)對(duì)臺(tái)積電漲價(jià)壓力。
IDM合作:Nepes為恩智浦77GHz雷達(dá)芯片提供FO-PLP封裝,單顆成本較傳統(tǒng)方案降低0.2美元。
3.區(qū)域布局調(diào)整
東南亞擴(kuò)產(chǎn):ASE在菲律賓建設(shè)M-Series專線,目標(biāo)2026年產(chǎn)能達(dá)每月1.5億顆。
中國大陸布局:JCET在江蘇江陰建設(shè)3D eWLB產(chǎn)線,服務(wù)華為海思AI芯片封裝需求。
二、晶圓廠:高端市場壟斷與技術(shù)外溢
晶圓廠通過垂直整合重塑FO競爭格局,其戰(zhàn)略呈現(xiàn)兩大方向:
1.臺(tái)積電:技術(shù)閉環(huán)與生態(tài)擴(kuò)張
InFO技術(shù)壟斷:獨(dú)占蘋果iPhone APE封裝,2025年市場份額達(dá)65%。
HPC市場滲透:InFO_oS集成4顆HBM3與GPU,帶寬密度達(dá)1.2TB/s,服務(wù)英偉達(dá)Grace Hopper超算芯片。
3D集成突破:3D-MiM技術(shù)實(shí)現(xiàn)邏輯芯片與HBM的3D堆疊,帶寬突破1.5TB/s,功耗效率提升50%。
2.GlobalFoundries:研發(fā)協(xié)同與產(chǎn)能補(bǔ)缺
技術(shù)合作:與CEA-Leti聯(lián)合開發(fā)22nm FD-SOI FO封裝,目標(biāo)物聯(lián)網(wǎng)邊緣計(jì)算。
產(chǎn)能共享:通過ASE代工生產(chǎn)5G毫米波AiP模組,單顆成本較臺(tái)積電低15%。
三、IDM:垂直整合與細(xì)分市場深耕
IDM通過內(nèi)部研發(fā)與外部收購構(gòu)建差異化能力,其布局聚焦兩大領(lǐng)域:
1.三星電子:消費(fèi)電子突破與汽車電子布局
FO-PLP商業(yè)化:Galaxy Watch采用自研FO-PLP封裝AP與PMIC,厚度較傳統(tǒng)方案縮減25%。
汽車電子攻堅(jiān):與特斯拉合作開發(fā)4D成像雷達(dá),F(xiàn)O封裝集成12顆Tx/Rx芯片,探測距離達(dá)300米。
2.恩智浦/英飛凌:汽車市場專注與OSAT協(xié)同
研發(fā)與小批量生產(chǎn):恩智浦在奧地利格拉茨工廠生產(chǎn)77GHz雷達(dá)芯片,單月產(chǎn)能5萬顆。
OSAT外包:80%產(chǎn)量交由ASE封裝,采用FO-CoS技術(shù)實(shí)現(xiàn)-40℃~125℃溫寬耐受。
四、設(shè)計(jì)公司:應(yīng)用驅(qū)動(dòng)與供應(yīng)鏈重構(gòu)
設(shè)計(jì)公司通過需求牽引推動(dòng)FO技術(shù)演進(jìn),其策略呈現(xiàn)三大趨勢:
1.旗艦應(yīng)用綁定
蘋果:全系iPhone采用臺(tái)積電InFO_PoP封裝APE,2025年訂單規(guī)模超10億顆。
高通:驍龍X75 5G基帶采用ASE FO-AiP,支持毫米波8載波聚合,下載速率達(dá)10Gbps。
2.新興市場拓展
AiP領(lǐng)域:Sivers IMA推出5G毫米波相控陣模組,集成16顆FO封裝的Tx/Rx芯片,功耗<5W。
物聯(lián)網(wǎng):Synaptics開發(fā)低功耗藍(lán)牙SoC,采用PTI FO-PLP封裝,待機(jī)電流<1μA。
3.供應(yīng)鏈多元化
聯(lián)發(fā)科:將50%的5G芯片封裝訂單轉(zhuǎn)向PTI,以降低對(duì)臺(tái)積電依賴。
海思:與華天科技合作開發(fā)eSiFO封裝的AI視覺芯片,目標(biāo)安防監(jiān)控市場。
四、技術(shù)許可與生態(tài)合作
Deca通過技術(shù)授權(quán)加速FO普及,其模式創(chuàng)新體現(xiàn)兩大價(jià)值:
1.M-Series技術(shù)擴(kuò)散
授權(quán)網(wǎng)絡(luò):已向ASE、Nepes、PTI等10家企業(yè)授權(quán),覆蓋全球50%的FO-PLP產(chǎn)能。
工藝標(biāo)準(zhǔn)化:與西門子EDA合作開發(fā)自適應(yīng)圖案化軟件,將芯片偏移量控制在±2μm以內(nèi)。
2.研發(fā)機(jī)構(gòu)角色
技術(shù)評(píng)估:CEA-Leti與3D Plus合作驗(yàn)證FO在空間應(yīng)用的可靠性,通過2000小時(shí)輻射測試。
人才培養(yǎng):Fraunhofer IZM開設(shè)FO封裝課程,年培訓(xùn)工程師超200人。
3.產(chǎn)業(yè)鏈趨勢與挑戰(zhàn)
面板級(jí)封裝崛起:PTI與三星電子加速600mm×600mm面板線擴(kuò)產(chǎn),預(yù)計(jì)2027年市場份額達(dá)25%。
3D集成競賽:三星X-Cube與臺(tái)積電3D-MiM正面競爭,目標(biāo)HPC市場。
汽車電子成為新戰(zhàn)場:華天科技eSiFO與三星FO-PLP均將汽車作為核心賽道,推動(dòng)封裝技術(shù)向高可靠性演進(jìn)。
供應(yīng)鏈安全:設(shè)計(jì)公司通過多元化采購(如聯(lián)發(fā)科轉(zhuǎn)向PTI)降低地緣政治風(fēng)險(xiǎn)。