近日，北方華創(chuàng)在投資者互動(dòng)平臺(tái)上表示，公司在HBM（高帶寬存儲(chǔ)器）芯片制造及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，已具備提供多款關(guān)鍵核心設(shè)備的能力，覆蓋刻蝕、薄膜沉積、熱處理、濕法清洗、離子注入等多項(xiàng)關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)。此舉再次凸顯了北方華創(chuàng)在半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程中的技術(shù)厚度與戰(zhàn)略布局。
隨著AI、HPC（高性能計(jì)算）、自動(dòng)駕駛等新興技術(shù)的迅猛發(fā)展，對(duì)高速、高帶寬內(nèi)存的需求持續(xù)提升，HBM芯片已成為全球存儲(chǔ)技術(shù)發(fā)展的前沿方向。HBM芯片因其采用3D堆疊架構(gòu)和硅通孔（TSV）封裝技術(shù)，對(duì)制造精度、熱控制能力及材料工藝的要求極高。
北方華創(chuàng)在HBM芯片制造過(guò)程中，能夠提供多個(gè)關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)所需的設(shè)備支持。例如：
等離子體刻蝕設(shè)備：實(shí)現(xiàn)硅通孔的高縱深比結(jié)構(gòu)刻蝕，是HBM芯片堆疊的基礎(chǔ)；
薄膜沉積設(shè)備：用于在晶圓表面沉積電介質(zhì)和導(dǎo)電材料，保障器件間層間連接的穩(wěn)定性；
熱處理設(shè)備：優(yōu)化材料晶體結(jié)構(gòu)，提升器件性能和良率；
濕法清洗系統(tǒng)：保障芯片在多道關(guān)鍵制程中表面潔凈度，防止缺陷產(chǎn)生；
離子注入設(shè)備：實(shí)現(xiàn)精確摻雜，控制器件電性特征，是HBM核心元件精密控制的重要環(huán)節(jié)。
這些關(guān)鍵設(shè)備不僅為HBM制造提供了全流程支持，也為客戶在高端芯片研發(fā)和量產(chǎn)過(guò)程中，提供更具競(jìng)爭(zhēng)力的國(guó)產(chǎn)化替代方案。
除了HBM，北方華創(chuàng)也在先進(jìn)封裝領(lǐng)域持續(xù)發(fā)力。隨著摩爾定律逐漸放緩，先進(jìn)封裝正成為驅(qū)動(dòng)半導(dǎo)體性能提升的關(guān)鍵突破口。2.5D/3D封裝、Chiplet（小芯片）集成、CPO（共封裝光學(xué)）等新興封裝技術(shù)不斷涌現(xiàn)，對(duì)設(shè)備的精密性、可靠性和工藝多樣性提出了更高要求。
北方華創(chuàng)在此領(lǐng)域已提前布局，通過(guò)提供高度定制化的刻蝕、沉積、清洗與熱處理等設(shè)備解決方案，支持多層芯片堆疊、高密度互聯(lián)與多芯片協(xié)同封裝，有效助力客戶推動(dòng)高密度、低功耗、低延遲的封裝產(chǎn)品落地。
在當(dāng)前國(guó)際技術(shù)環(huán)境復(fù)雜多變的背景下，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商正迎來(lái)前所未有的歷史機(jī)遇。北方華創(chuàng)通過(guò)多年自主研發(fā)與技術(shù)積累，已成功實(shí)現(xiàn)多款設(shè)備在存儲(chǔ)、邏輯、功率、先進(jìn)封裝等核心領(lǐng)域的規(guī)模應(yīng)用。
尤其在HBM與先進(jìn)封裝技術(shù)快速演進(jìn)的當(dāng)下，北方華創(chuàng)的設(shè)備產(chǎn)品不僅幫助下游芯片企業(yè)突破關(guān)鍵“卡脖子”技術(shù)，還有效提升了整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的穩(wěn)定性與自主可控能力。
公司也在不斷加強(qiáng)與本土芯片設(shè)計(jì)企業(yè)、晶圓代工廠、封測(cè)龍頭的技術(shù)協(xié)同，通過(guò)聯(lián)合研發(fā)、技術(shù)驗(yàn)證、定制優(yōu)化等形式，實(shí)現(xiàn)設(shè)備產(chǎn)品與客戶工藝需求的深度融合。
面對(duì)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)更迭加快與競(jìng)爭(zhēng)加劇的格局，北方華創(chuàng)以持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新和高質(zhì)量設(shè)備制造能力，為中國(guó)在HBM和先進(jìn)封裝等關(guān)鍵領(lǐng)域搶占制高點(diǎn)提供有力支撐。未來(lái)，隨著更多核心設(shè)備實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代，北方華創(chuàng)有望在“強(qiáng)鏈補(bǔ)鏈”的國(guó)家戰(zhàn)略中，扮演更加重要的角色。
