在開始之前,我們先要了解芯片中的“層”是什么概念。芯片設(shè)計采用分層方法,對應(yīng)制造過程中的不同功能結(jié)構(gòu)。例如掩模版中的圖形層、晶圓上的材料層(如金屬層、多晶硅層、介質(zhì)層)等。其中PCB電路版圖是我們芯片設(shè)計的最終結(jié)果。電路版圖是芯片設(shè)計的物理表達(dá),其每一層設(shè)計(如金屬連線層)對應(yīng)一張掩模版。通過光刻工藝,掩模版圖形被轉(zhuǎn)移到硅晶圓上,形成實際的物理層。如下圖左側(cè)所示是晶體管設(shè)計版圖,取自電路版圖的一部分。 不同的顏色代表不同的層,也對應(yīng)著相應(yīng)的掩模版,每張掩模版經(jīng)過光刻后會晶圓上形成材料介質(zhì)層。電路版圖中的每一層設(shè)計(如金屬層、多晶硅層)對應(yīng)一張掩模版,電路版圖有多少層,最終晶圓上就有多少層的材料介質(zhì)層。
這些材料介質(zhì)層在硅晶圓上疊加在一起,就形成了整個芯片上,乃至整個硅晶圓上所有的電路元器件和電路連線,稱之為電路層。這里需明確:一個裸片本身已包含完整的多層電路結(jié)構(gòu)(如晶體管層、金屬互連層)。不像有的地方說的一個裸片上只有一層電路層。這些元器件上面不再有元器件的堆疊。經(jīng)過電路層制造、劃片、封裝和測試,就形成了我們的傳統(tǒng)的2D芯片。在2D芯片中,多個裸片是平鋪到硅片上的,指未堆疊的單個封裝體。我們在2D芯片的電路層和封裝基板之間增加一層專門用于布線的硅中介層,即Silicon Interposer,裸片堆疊到中介層上,硅中介層通過TSV實現(xiàn)芯片與基板的垂直互連,這樣的芯片我們稱之為2.5D芯片。
需要注意的是2.5D芯片中裸片本身不垂直堆疊。
而3D芯片指的是多個電路層堆疊起來的,每個裸片上都有一個電路層。但也2.5D芯片不同的是,在3D封裝中,TSV直接在芯片上實現(xiàn)多層硅晶圓的垂直互連。如下圖所示:
我們作個比喻:2D芯片如單層平房;2.5D如帶閣樓的復(fù)式(中介層=樓梯);3D封裝如多層公寓。
這里我們提一下存儲芯片,雖然它的封裝殼中中有一個裸片,但如果在此裸片上集成了很多電路層,那么存儲芯片也可以被看作是3D芯片。2021年美光公司推出了176層的3D NAND閃存芯片。
不過,需要注意的,3D NAND是單顆裸片內(nèi)部的垂直堆疊(屬于芯片制造工藝),而3D封裝是多顆完整裸片的垂直堆疊(屬封裝技術(shù)),二者層級上還是不同的。